南光真空

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高阀
 

  采用双塔结构,装在扩散泵与真空室之间,光学屏蔽好,流导大,挡板各部分温差小,制冷剂耗量少,能有效地捕集来自扩散泵的返流蒸汽及分裂物质,广泛应用于要求清洁高真空场所。

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